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제품이미지 |
제품명 |
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고진공 고배율용 전도성 코팅기
  Leica EM ACE600에 맞춘 진공 극저온 전환 시스템인 Leica EM VCT는 오염이 없는 극저온 SEM 샘플 준비에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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초저온 전자동 전도성 코팅기
유리화된 동결 구조는 환경적 영향에 극단적인 민감성을 가지며 아티팩트가 형성되지 않도록 보호해야 합니다.
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[정립 현미경] 반도체 검사용 정립 현미경
마이크로 전자 및 반도체 산업에서 검사, 공정 제어 또는 결함 및 고장 분석에 있어서 넓은 시야(FOV)를 활용 결함을 더 신속하고 정확히 발견할 수 있습니다.
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[정립 현미경] Wafer(8" & 12") 검사용 정립 현미경
매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 혁신적인 기능으로 12인치 웨이퍼와 8인치 웨이퍼 검사시 높은 분해능과 빠른 작업 속도를 제공하는 반도체 검사용 정립 현미경
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자동 박막 두께 측정기 [Robotic SENDURO® MEMS]
SENDURO®MEMS is a fully automated, flexible measurement tool for quality control.
It measures a large variety of thin films and stacks such as oxides, nitrides, a-Si, Si-membranes, resists, typical to MEMS and sensor production.
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자동박막측정기 [SENDURO]
SENDURO_ 자동 맵핑 엘립소미터
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분광 엘립소미터 분석기 [SENresearch 4.0]
SENresearch_ R&D 및 고성능 엘립소미터
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분광 엘립소미터 분석기 [SENpro]
Ellipsometric 원리를 이용하여, Nano ~ Miro 사이즈의 thin layer 의 두께를 측정하는 장비
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레이저 박막측정기 Laser Ellipsometer [SE400]
SE400adv 단파장 엘립소미터 (Laser Ellipsometery)
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박막두께측정기 Reflectometer [RM1000 / RM2000]
RM1000 / 2000
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박막두께측정기 Reflectometer [FTP Adv]
FTPadv-1 / FTPadv-2
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박막두께측정기 Reflectometer(Software)
FTPadv Expert(Software)
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X-선 회절 분석기(X-Ray Diffraction)
탁상형 XRD System
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Carrier Life time 측정장비 [MDPmap]
단결정 및 다결정 웨이퍼 캐리어라이프타임 측정 장치로 정교한 재료 연구 및 개발 사용됩니다.
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대면적 맵핑형 면저항 측정기 [EddyCus® TF map SR series]
EddyCus TF 2530 맵핑은 자동 측정 모드에서 300 × 300 mm² 인 (12 × 12 인치)에 큰 샘플의 시트 저항을 측정한다
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레이저 박막분석기 Laser Ellipsometer [SE500]
SE500adv CER Ellipsometer 단파장 + 리플렉토미터 (Advanced Combined Ellipsometery+ Reflectometer)
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포인트 면저항 측정기 [EddyCus® TF Lab Series]
EddyCus®의 TF lab Series (Thin Film)는 도전성 박막 용 비접촉식 실시간 단일 포인트 시트 저항 및 금속 막의 두께 측정을 하는 시험기 입니다.
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MDP ingot
Photoconductivity 측정
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배터리&쏠라 품질 검사장비 B-Lab
자기장 이미지 (MFI) 기술을 통해 비접촉 및 정량적으로 전류를 분석합니다.
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배터리&쏠라 품질 검사장비 B-Lab Customization
두 개의 센서를 사용한 측정 거리를 1.25mm로 줄인 고해상도 모델
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ICP 플라즈마 에칭 장비 [SI 500]
SENTECH社 하이 엔드 플라즈마 에칭 시스템 SI (500) 는 저 손상 에칭 및 나노 구조화를 위해 낮은 이온 에너지를 갖는 유도 결합 플라즈마를 사용한다
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PECVD 플라즈마 증착 시스템 [SI 500 D]
SI 500 D 는 플라즈마 기반 증착 공정에 탁월한 성능을 제공합니다. 고품질 유전체 및 Si 막은 PTSA ICP 플라즈마 소스로 생성 된 고밀도 PECVD를 사용하여 증착됩니다.
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PEALD (Atomic Layer Deposition) 플라즈마 원자 증착 시스템 [SI PE ALD]
SENTECH사의 SI PEALD system은 저온의 원자 증착 장비로 실시간으로 원자 증착을 Monitoring 할 수 있는 In-Situ Ellipsometor를 장착하여 높은 Quality의 막질과 공정 개발이 가능한 제품입니다.
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인공지능 기반 이미지 분석 프로그램 - 비전 AI
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실시간 Inline 면저항 측정 장비
EddyCus TF In line제품은 R2R 공정이나 대형 기판의 제조 및 검수 공정에서 실시간으로 면저항의 측정하여 수율을 평가하여 완제품 공정 이후 발생할 수 있는 불량율을 낮춰줄 수 있는 제품 입니다. 엘림글로벌의 숙련된 엔지니어를 통해 고객 맞춤형 설치 및 제안을 해드리는 모든 고객에 맞춤형 제품을 공급해드리고 있습니다.
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인라인 면저항 측정기 [EddyCus® TF Inline Series]
SURAGUS 사의 Eddy Current 방식의 비접촉 면저항 측정 방식으로 다양한 고객의 필요에 맞는 다양한 제품을 공급하고 있습니다.
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휴대용 면저항 측정기 (EddyCus portable)
EddyCus portable은 현장에서 빠르게 면저항을 측정할 수 있는 장비입니다.
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