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분광 엘립소미터 분석기 [SENresearch 4.0] > [new] 제품소개

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산업공정

박막 두께 측정기

분광 엘립소미터 분석기 [SENresearch 4.0]

SENresearch_ R&D 및 고성능 엘립소미터
제조사 Sentech
모델 SENresearch 4.0
 
 

SENTECH 社의 Thin Film 측정기는 EllipsometerReflectometer의 제품군이 있습니다.

Stage를 정밀 Tuning 하는 기술의 적용으로 미세 박막의 두께 및 광학 상수를 얻을 수 있습니다.

엘립소미터는 DUV 영역에서 IR영역까지 사용자의 목적에 따라 파장을 선택하실 수있으며, 고객의 필요한 요구에 맞춘 다양한 선택 사양의 지원이 가능합니다.


​SENresearch 4.0

 

 INTRODUCTION

 

Widest spectral range and highest spectral resolution

SENresearch 4.0190nm ~ 3,500nm 범위의 넓은 스펙트럼 범위를 다루고 있습니다. 높은 주파수의 스펙트럼 FTIR타원 본광을 사용하여 200um의 두께의 두꺼운 필름을 분석할 수 있습니다.

   

No Moving parts with SSA principle

최적의 측정 결과를 산출하기 위해 장비는 어떤한 움직이는 부품이 없습니다. 이는 빛의 Alignment에 있어서 매우 중요한 요소로, 측정결과의 오차를 줄여줍니다. 또한 SENresearch4.0은 Step & Scan analyzer(SSA)를 

통해 Signal/Noise Ratio를 높임으로서 높은 검출 능력을 나타 냅니다.

Full Mueller Matrix by innovative 2Compensator design​  

 2개의 Compensator는 SSA 측정 시 Full Mueller Matrix 측정이 가능하게 해 줍니다. 이 또한 업그레이드를 통해 기존 장비에서 추가할 수 있습니다.

 

정교한 소프트웨어 SpectraRay 4

경제성이 뛰어는 SENpro VIS-NIR 타원 광학계, 5 ° 스텝 고니오미터, 샘플 스테이지, 광학초점계, 광섬유로 연결되는 안정화된 광원 및 디텍터 장치로 구성되며, 함께 제공되는 SpectraRay 4 소프트웨어는 시스템 제어 및 모델링, 시뮬레이션, 피팅 및 데이터의 프리젠 테이션을 포함하여 데이터 분석을 위한 최적화된 프로그램입니다.

 

Options

자동 고니오미터 / 자동 샘플스테이지 / 자동 초점시스템(Height/Tilt) / UV 광원

 ​

 

 

Pyramid Goniometer

 

프로그램에서 자동조절을 할 수 있는 오토고니오미터, Multi Angle 측정 시 매우 유용

MicroSpot

 

광원의 손실없이 beam size를 적게하여 원하는 샘플 위치의 측정을 가능하게 도와준다

FTIR Option

 

Wavelength를 3,500nm 파장까지 확장할 수 있다

 

 

Automated hight and tilt adjustment

 

자동 높이/틸트 조정장치로 샘플의 forcus가 편해진다

 

 

Transmission measurement

 

Beam을 샘플에 투과시켜 두께를 측정하는 기술

 

Reflectivity measurement

 

두께와 굴절율 뿐만아니라, 반사율을 측정할 때 사용하기 기술

 

 

 

 

 

  

 

 PRINCIPLE

 

엘립소미터는 입사되는 광원이 시료의 박막에 의해 Psi/delta만큼의 변화를 얻고 이를 다양한 Modeling parameter에 적용하여 원하는 시료의 광학 상수와 미세 두께를 측정할 수 있습니다.

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 FEATURES

 

 

- 광범위한 분광 영역 190nm ~ 3,500nm
- CCD Array detector를 이용한 빠른 측정 능력
- 빠른 Step and scan Analyzer를 이용한 낮은 S/N검출 비율
- 하나의 장비에서 지원하원 Full 15 Mueller matrix
- 피라미드 고미오 미터 방식을 이용한 넓은 측정 영역

- 쉽고 편리한 Program SPECTRARAY/4

- 현장에서 가능한 Upgrade

 APPLICATIONS

 

 

- Biology and Chemistry in Institute & Universities

- Telecommunication (LiNbO3, waveguides)

- Nanom aterials and particles

- 모든 분야의 Thin Film